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等離子刻蝕機(jī)30L

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深圳市甲岸科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用范圍適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

詳細(xì)介紹

甲岸科技等離子刻蝕機(jī) 30L

甲岸科技等離子刻蝕機(jī)對(duì)進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，確保細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)產(chǎn)品表面處理需求。

產(chǎn)品應(yīng)用

1、適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

產(chǎn)品特點(diǎn)

小巧靈活、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。
引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)，精度高。
材質(zhì)耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
可以根據(jù)客戶(hù)需求定制

型號(hào)	AP-E30
等離子源系統(tǒng)	頻率		13.56MHz 射頻
	功率		0~500W 可調(diào)
真空系統(tǒng)	真空腔體	材質(zhì)	石英、航空鋁（選配）
		腔體內(nèi)部尺寸(MM)	400200400
		腔體容積	30L
		極板	1層
		密封性	級(jí)焊接密封
	泵	真空泵	干泵
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計(jì)		薄膜硅
	氣體流量計(jì)		＜±1% FS
	氣路控制		2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
	極限真空		3Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調(diào)）
	工藝氣體		Ar、N?O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)	1、PLC 自動(dòng)控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；
	3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；
	4、多級(jí)權(quán)限操作；
	5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；
	6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；
	7、報(bào)警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；
	9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
	10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
	11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；
	12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；
	13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)	外形尺寸(MM)		6401700840 (寬高深）
	重量		280KG
設(shè)施配置	電力		五線(xiàn)，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA。
	其它		提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單。