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深圳市甲岸科技有限公司
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應用范圍適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
甲岸科技等離子刻蝕機 150L
甲岸科技等離子刻蝕機對進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實現各項異性刻蝕，確保細小圖形轉移后的保真性。滿足用戶對產品表面處理需求。
產品應用
1、適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
產品特點
型 號 | AP-E150 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~500W 可調 | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 石英、航空鋁（選配） |
腔體內部尺寸(MM) | 360*800*650 | ||
腔體容積 | 150L | ||
極板 | 4層 | ||
密封性 | 級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 薄膜硅 | ||
氣體流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調 | ||
極限真空 | 3Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | |
工藝氣體 | Ar、N?O?、H?等等（可選） | ||
控制系統 | 1、PLC 自動控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數據及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結束提示； | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 1020*1700*1050(寬高深） | |
重 量 | 800KG | ||
設施配置 | 電 力 | 五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單。 | ||
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