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MKS I系列IE250A質量流量控制器

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更新時間:2023-10-18 12:04:12瀏覽次數:212次

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產品簡介

IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封100-250slm質量流量控制器I系列IE250A質量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設計用于苛刻的工業環境,在這些環境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能

詳細介紹

IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封100-250 slm質量流量控制器

 I系列IE250A質量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設計用于苛刻的工業環境,在這些環境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm(相當于N2)。IE250可采用模擬I / O或數字I / O,并利用的控制算法對設定點進行快速,可重復的響應。

·        流速從100到250 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

·        1-2秒建立時間

·        標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0%

技術指標

滿量程流量范圍

100-250 slm(相當于N2)

儲存濕度

0至95%相對濕度,無凝結

入口壓力

150磅/平方英寸

貯存溫度

-20°至65°C

正常工作壓力差

30至55 psid

外部泄漏完整性

<1 x 10 -9(scc / sec He)

爆破壓力

1500磅/平方英寸

封閉閥的泄漏完整性

在40 psia至vac時<1.0%滿量程(<500 mTorr)

控制范圍

滿量程的2%至100%

濕材料

316 SS,17-1 SS,Elgiloy,430FR(標準)

典型精度

滿量程的20%至100%時為設定值的±1%
滿量程的5%至20%時為滿量程的±0.25%

密封材料

Viton®(VI級)或EPDM(VI級)

重復性

讀數的±0.5%

表面處理

平均Ra 16 µinch

解析度

讀數的0.1%

重量

4.5磅 (2.05公斤)

零溫度系數

<滿量程的0.05%/°C

外殼等級

IP66

跨度溫度系數

<0.08%的Rdg./°C

合規

CE認證

進氣壓力系數

<讀數的0.03%

電源要求

+15至+24 VDC @(<4瓦)

典型建立時間

通常在50 psi的10%滿刻度以上需要1到2秒

流量輸入輸出信號

電壓:0至5 VDC
電流:4至20 mA

熱身時間

1小時

模擬量I / O連接器

電壓:15針“ D"型公頭
電流:15針“ D"型公頭

工作溫度

10°至50°C



特征

快速建立時間

1至2秒的穩定時間和低于設定點1%的設定點精度優于其他典型的高流量質量流量控制器。精確控制保持在IE250A配置的滿量程流量范圍的2%。多氣體/多量程功能,以及針對精度,控制范圍和瞬態響應的嚴格性能規格,使用戶可以地減少高流量MFC零件編號的庫存。

多氣體/多量程功能

可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能(以及其他自定義控件),而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標準的以太網電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關鍵氣體參數已存儲在設備中。配置設備僅是從下拉菜單中選擇氣體并所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執行常規設備運行狀況檢查,繪制流量響應并存儲操作數據以進行離線分析。

 


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