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D500壓力不敏感型高性能質量流量控制器

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產品型號D500

品牌

廠商性質其他

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更新時間：2024-01-10 14:15:26瀏覽次數：179次

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產品簡介

D500壓力不敏感型高性能質量流量控制器

詳細介紹

D500壓力不敏感型高性能質量流量控制器

HORIBA株式會社堀場制作所的壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500

高穩定性質量流量模塊—氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

概要

最的壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500

高穩定性質量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

特征

壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統

多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內的流量,供應壓力范圍

G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節流方程)
G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監測,通常會在三秒內提高生產能力

高精度
的三維調節已改進工藝氣體的流量精度

快速響應
響應速度＜0.8秒
已實現精準且穩定的流量控制

動態范圍
控制范圍：0.2% F.S. ~ 99% F.S.

制造: HORIBA STEC