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日本HORIBASTEC-8440F8450高溫質量流量控制器

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更新時間:2022-10-09 13:17:05瀏覽次數:167次

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產品簡介

日本HORIBASTEC-8440F8450高溫質量流量控制器

詳細介紹

概要
質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環境。而質量流量,是利用測量氣體的質量,而質量是不受外界的環境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。
1.適用于高溫:可滿足150℃烘焙
2.產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
3.超清潔類型:接氣部全不銹鋼構造
4.MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規格
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8440LSL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8450LSL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8455LSL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8460LSL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8440LSM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8450LSM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8455LSM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8460LSM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8440LSH
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8450LSH
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8455LSH
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8460LSH
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8440SL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8450SL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 3/5/10 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8455SL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8460SL
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 20/30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8440SM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8450SM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 3/5/10 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8455SM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8460SM
 
氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 20/30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃
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