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天津市比利科技發展有限公司
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堀場匯博隆質量流量控制器產品概述本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量
堀場匯博隆質量流量控制器
產品概述
本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
產品特點
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補償
3、快速的響應
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對零點漂移有效的抑制
6、化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
7、良好的選擇性
應用領域
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制，適用于各種氣體，精度高，零漂小，無需矯正可任意角度安裝。
基本參數
編號 | 項目 | S48 28/HMT | |
1 | 流量規格 | (100,150,200)L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
4 | 安裝角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范圍 | 5%～99% | |
6 | 流量測量范圍 | 0～99% | |
7 | 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
8 | 工作環境溫度 | 5℃～50℃ | |
9 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作壓差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
14 | 耐壓 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
17 | 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) | +24VDC(寬電壓+11～+25V), |
19 | 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
20 | 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA |
|
21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 2.8 | |
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