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上海華械自動化設備有限公司
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金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
| | 5100質量流量控制器 |
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 響應時間 | 1秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進口壓力 | O.3Mpa |
| 動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m3/s以下 |
| 內拋光 | Ra≤0.1 |
| 溫度范圍 | 5-45℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
| 材質 | 本體SUS316L |
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路連接 | 標配1/4UJR |
| 選配1/8UJR | |
| 重量 | 約1000g |
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
| 3針腳/紅色 | +15VDC |
| 4針腳/黑色 | 電源COM |
| 5針腳/黃色 | -15VDC |
| 6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
| 7針腳/綠色 | 輸出COM |
| 8針腳/蘭色 | 輸入COM |
| 9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口壓力3公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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