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108AUTO 離子濺射儀

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更新時(shí)間:2021-07-29 14:36:02瀏覽次數(shù):208次

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產(chǎn)品簡介

108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜

詳細(xì)介紹

108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
七、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù)
樣品室大小
直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
靶材
Au 靶為標(biāo)配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺
可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm
濺射控制
微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流40mA,程序化數(shù)字控制
濺射頭
低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
模擬計(jì)量
真空: Atm - 0.001mbar
厚度監(jiān)控
(
選件)
使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動終止濺射過程
控制方法
自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器(0-300s),自動放氣
桌上系統(tǒng)
真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

銅網(wǎng)鍍碳制成負(fù)染色蛋白質(zhì)樣品案例

關(guān)鍵詞:顯示器 真空泵
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