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上海添時科學儀器有限公司
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
技術參數
輸入功率 |
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輸出功率 |
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樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
加熱樣品臺 |
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控制面板 |
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可選
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進氣口 | 一個精密可調針閥安裝在進氣口,以實現方便的調節進氣量 |
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標配靶材分別有
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外形尺寸 |
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質保期 | 一年質保期,相關耗材除外,終身維護。 |
質量認證 | |
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