產品簡介：
EVG 520 HE是一款基于EVG520設備的半自動熱壓印設備，適用于所有聚合物，可應用于高質量的納米圖形轉移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點及參數：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·自動壓印并具有氣動脫模功能
·壓力：100KN
·溫度：350℃（可選配至550℃）
·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）
暫無信息 |
當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>納米壓印光刻系統>> EVG 520 HE熱壓印系統
產品簡介：
EVG 520 HE是一款基于EVG520設備的半自動熱壓印設備，適用于所有聚合物，可應用于高質量的納米圖形轉移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點及參數：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·自動壓印并具有氣動脫模功能
·壓力：100KN
·溫度：350℃（可選配至550℃）
·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）
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