產品簡介：
EVG 101是一款適合于研發的單腔晶圓涂膠顯影設備，可用于噴膠、旋涂和顯影，可在三維結構晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆，并保持高均勻性。
主要特點及參數：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·手動裝片，自動噴涂/旋涂，自動清洗腔室內殘膠
·適用光刻膠范圍廣泛，粘度可達52000cp
·基片轉速：10000r/min
暫無信息 |
當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>測試與輔助工藝設備>> EVG 101涂膠/噴膠/勻膠系統
產品簡介：
EVG 101是一款適合于研發的單腔晶圓涂膠顯影設備，可用于噴膠、旋涂和顯影，可在三維結構晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆，并保持高均勻性。
主要特點及參數：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·手動裝片，自動噴涂/旋涂，自動清洗腔室內殘膠
·適用光刻膠范圍廣泛，粘度可達52000cp
·基片轉速：10000r/min
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