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EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

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更新時間：2024-04-27 07:19:20瀏覽次數(shù)：273次

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EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設(shè)備，可針對壓印、光刻、對準功能進行快速轉(zhuǎn)換。

產(chǎn)品簡介：

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設(shè)備，可針對壓印、光刻、對準功能進行快速轉(zhuǎn)換。

 

主要特點及參數(shù)：

·支持6英寸（150mm）晶圓

·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）

·支持汞燈或的UV-LED光源

·可選配功能：

鍵合對準

紅外對準

納米壓印光刻（NIL）

微接觸印刷

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

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EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設(shè)備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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