產品簡介：
EVG770是一款用于分步和重復工作的紫外納米壓印設備，能有效在襯底上制作復雜的結構。通常用于晶圓級光學的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點及參數：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·分辨率可達50nm（取決于模版和工藝條件）
·可選cassette-to-cassette上下料
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產品簡介：
EVG770是一款用于分步和重復工作的紫外納米壓印設備，能有效在襯底上制作復雜的結構。通常用于晶圓級光學的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。
主要特點及參數：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·分辨率可達50nm（取決于模版和工藝條件）
·可選cassette-to-cassette上下料
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