產品簡介：
EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設備，能在大面積、高產量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構，非常適合于下一代微流控器件、光學器件，例如光學衍射元件（DOE）。
主要特點及參數：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）
·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術
暫無信息 |
當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>納米壓印光刻系統>> EVG 720納米壓印系統
產品簡介：
EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設備，能在大面積、高產量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構，非常適合于下一代微流控器件、光學器件，例如光學衍射元件（DOE）。
主要特點及參數：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）
·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術
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