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深圳市夢啟半導體裝備有限公司
全自動超精密晶圓減薄機是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動系統的高精度研磨設備。全自動上下料,可進行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。
◎ 減薄單元采用軸向進給(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。
◎ 設備配有MARPOSS在線測量儀單元,加工時實時測量產品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG單元。
◎ 設備核心是具有自主產權的2個靜壓氣浮磨削主軸、3個高精度晶圓主軸及1個高剛度大直徑氣浮回轉工作臺構造的全自動磨削減薄機。
◎ 全自動上下料。可進行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。
◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺觸摸式液晶顯示器,方便在不同區域作業需求,提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態,操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。
參數名稱 | 單位 | DL-GD2005A | DL-GD3005A | |
晶圓尺寸 | in | ?8'' (?4''/?6''/?8'') | ?12'' (?8''/?12'') | |
研磨方式 | - | 晶圓旋轉進給磨削 | ||
砂輪直徑 | mm | ?250金剛石砂輪 | ?300金剛石砂輪 | |
主軸 | 額定功率 | KW | 7.5/12.9 | 5.5 |
額定轉速 | RPM | 4000 | 3500 | |
磨削精度 | 片間厚度變化 | um | ≤±2 | ≤±3 |
TTV | um | ≤2 | ≤3 | |
表面粗糙度Ra | um | 0.15(#2000) | 0.15(#2000) | |
設備尺寸(W x D x H) | mm | 1350x3200x1950 | 1544x3622x2000 | |
設備重量 | KG | 約3500 | 約4000 |
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