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單工位減薄機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)DL-GD3002A

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更新時(shí)間：2024-10-02 13:46:51瀏覽次數(shù)：140次

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

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產(chǎn)品簡介

單工位減薄機(jī)是單主軸、單工作臺(tái)，結(jié)構(gòu)簡單緊湊的精密研削減薄機(jī)。適用于Φ300mm以下的硅晶圓、碳化硅、藍(lán)寶石、陶瓷、光學(xué)玻璃等硬脆性材料的精密研磨。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 本機(jī)器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺(tái)，工件通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心，磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn)，進(jìn)行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定，加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。

◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu)，定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機(jī)械軸承的摩擦力，磨損程度降到了，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。

◎ 氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。

◎ 氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負(fù)載的作用力，在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱		單位	DL-GD3002A
晶圓尺寸		in	?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'')
研磨方式		-	晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑		mm	?300金剛石砂輪
主軸	額定功率	KW	7.5/12.9
主軸	額定轉(zhuǎn)速	RPM	4000
磨削精度	片間厚度變化	um	≤±3
	TTV	um	≤3
	表面粗糙度Ra	um	0.15（#2000）
設(shè)備尺寸（W x D x H）		mm	1150x1260x1950
設(shè)備重量		KG	約1600