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行業(yè)產(chǎn)品

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上海德竹芯源科技有限公司


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Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測儀

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SV50 / SV200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-09-28 09:39:58瀏覽次數(shù):323次

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商鋪產(chǎn)品:9條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測儀具備透光材料內(nèi)應(yīng)力分布測量及缺陷篩查等檢測功能。

詳細介紹

優(yōu)勢

基于雙折射應(yīng)力測量模型實現(xiàn)應(yīng)力瞬時測量,顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖
采用雙遠心檢測光路,相位延遲測量精度高
根據(jù)不同測量視場要求,多種鏡頭可選
訂制化樣品托盤,適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測試


適用對象

適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學(xué)元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內(nèi)應(yīng)力檢測


適用領(lǐng)域
面向化合物晶圓生產(chǎn)、光學(xué)精密加工等行業(yè)


檢測原理
基于偏振光應(yīng)力雙折射效應(yīng)檢測晶圓材料內(nèi)部應(yīng)力分布。當(dāng)晶體材料由于內(nèi)部缺陷存在應(yīng)力集中時會導(dǎo)致應(yīng)力雙折射效應(yīng),偏振光透過它時會發(fā)生偏振態(tài)調(diào)制,通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的應(yīng)力延遲量,從而得到材料內(nèi)應(yīng)力分布
可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測


實測案例

Strain Viewer技術(shù)規(guī)格




瑞霏光電內(nèi)應(yīng)力檢測儀將全口徑延遲、應(yīng)力方位角等分析整合進入一鍵測量,確??蛻裟芸焖俅_認工藝。

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