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上海德竹芯源科技有限公司


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Strain Viewer 內應力檢測儀

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具體成交價以合同協議為準

產品型號SV50 / SV200

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-09-28 09:39:58瀏覽次數:321次

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經營模式:其他

商鋪產品:9條

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產品簡介

Strain Viewer 內應力檢測儀具備透光材料內應力分布測量及缺陷篩查等檢測功能。

詳細介紹

優勢

基于雙折射應力測量模型實現應力瞬時測量,顯示應力二維分布偽彩圖
采用雙遠心檢測光路,相位延遲測量精度高
根據不同測量視場要求,多種鏡頭可選
訂制化樣品托盤,適應不同規格晶圓批量測試


適用對象

適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內應力檢測


適用領域
面向化合物晶圓生產、光學精密加工等行業


檢測原理
基于偏振光應力雙折射效應檢測晶圓材料內部應力分布。當晶體材料由于內部缺陷存在應力集中時會導致應力雙折射效應,偏振光透過它時會發生偏振態調制,通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的應力延遲量,從而得到材料內應力分布
可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測


實測案例

Strain Viewer技術規格




瑞霏光電內應力檢測儀將全口徑延遲、應力方位角等分析整合進入一鍵測量,確保客戶能快速確認工藝。

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