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P15等離子體清洗、刻蝕機

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更新時間:2023-01-04 16:20:49瀏覽次數(shù):509次

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產(chǎn)品簡介

概述:等離子體清洗機由真空腔體及等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成

詳細介紹

概述:

等離子體清洗機由真空腔體及等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度,再在等離子電源作用下,將氣體進行電離,形成等離子體(物質(zhì)第四態(tài))。等離子電源提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的色彩可見光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

 

技術(shù)參數(shù):

罐體尺寸:Φ150×220深;

極限真空度: 9*10-1Pa(配套雙級旋片真空泵);

射頻電源,功率0~150 W,數(shù)顯;

充氣系統(tǒng)包括高真空專用微調(diào)閥2套,方便二種不同氣體按比例混合;

真空系統(tǒng) 配真空泵一臺,抽氣速度≥2 升/秒 ,極限真空9x10-1,工作電壓220伏。真空專用閥、充氣閥、不銹鋼真空波紋管、高精度數(shù)字式真空計、規(guī)管(配觸摸屏系統(tǒng)采用進口規(guī)管);

刻蝕系統(tǒng)另加裝水冷樣品臺;

標配采用手動邏輯控制??蛇x配PLC+觸摸屏自動控制。

關(guān)鍵詞:真空泵 真空計
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