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深圳市金徠技術有限公司


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等離子刻蝕機 30L

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更新時間:2023-01-18 09:39:24瀏覽次數:276次

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產品簡介

產品型號:JL-E30設備功能:進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。產品應用:適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

詳細介紹

產品型號:JL-E30

設備功能:進行介質刻蝕硅刻蝕金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。

產品應用:適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗鍍膜。




技術參數:


JL-E30

等離子源系統

13.56MHz 射頻

0~500W 可調

真空系統

真空腔體

材質

石英、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路氣體流量可調

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

ArN?O?H?等等可選

控制系統

1、PLC 自動控制;

27寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯

8、圖形化界面檢測處理參數;

9、自動手動操作可切換

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

280KG

設施配置

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


設備優勢:


1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。


設備訂購:


等離子去膠機 電話咨詢 (微信同號)


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