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混氣PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200 PECVD

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

石墨烯、納米管生長(zhǎng)爐

等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)

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鄭州科佳電爐有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述：KJ-T1200PECVD是一種PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：
KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)		KJ-T1200 PECVD
部分：標(biāo)準(zhǔn)件
等離子射頻電源	輸出功率	5 -500W可調(diào)，均勻性 ± 1%
	RF頻率	13.56 MHz ±0.005%
	反射功率	200W
	射頻輸出端口	50 Ω，N型
	噪音	<50 dB.
	冷卻	空氣冷卻
管式爐部分	顯示	LED
	形式	分體式和上部可打開
	連續(xù)工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	建議：0~10℃/min（20℃/min）
	溫區(qū)長(zhǎng)度	500mm
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	K型
	溫度均勻性	±1℃
	爐管尺寸	200m外徑 X 長(zhǎng)度1600mm
	爐管尺寸	材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動(dòng)控制
	加熱曲線	30步可編程
	法蘭	不銹鋼帶閥真空法蘭
	電壓	380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵	旋片真空泵流量：4L/S 旋片式真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪的推車。
質(zhì)量流量計(jì)	三款精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據(jù)您的要求）底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥，手動(dòng)控制3種氣體混合
數(shù)字真空計(jì)	皮拉尼數(shù)字真空計(jì)

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