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鄭州科佳電爐有限公司
產品介紹:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成
產品介紹:
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成??蛇m用于石墨烯生長等。
主要功能和特點:
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等;
2、真空系統由旋片真空泵和進口數顯真空計組成,真空可達10Pa;
3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計,流量顯示儀等組成,實現氣體的流量的精密測量和控制;觸屏操作,操作簡單方便。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界卡套連接,不漏氣;
設備主要技術參數:
產品名稱 | 石墨烯生長爐PECVD設備(CE認證) |
開啟式滑軌管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-T1200-S60LC-H2 |
爐管尺寸 | Φ60mmX1600mm |
加熱區 | 300mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 溫度控制系統采用觸屏操作,人工智能調節技術,具有 PID 調節、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序; |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min ,建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。 |
爐體結構 | 滑軌結構,可以實現快速降溫 |
爐 管 | 石英爐管 |
真空系統部分 | |
名稱 | 真空系統 |
主要參數 |
|
氣路系統部分 | |
名稱 | 四路質量流量計 |
主要參數 | 四通道精密質量流量計:觸屏控制,數字顯示。流量范圍流量范圍: 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調 2.一個混氣罐 3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體; 4.進出氣口:4進1出 流量控制:手動旋轉式調節 連接方式:雙卡套連接 |
等離子電源部分 | |
名稱 | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W(連續可調) |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 連續輸出 |
功率穩定度 | ≤2W |
反射功率 | 70W |
電源保護設置 | DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 |
供電電壓/頻率 | 單相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷卻方式 | 風冷 |
整機重量 | 13.5KG |
隨機贈送 | 石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機、硅膠管、內六角扳手、說明書、保修卡等 |
售后服務 | 整機質保一年,終身保修(加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質保范圍) |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
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