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雙溫區CVD實驗室設備

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產品型號S-1400PC

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更新時間：2023-03-16 12:36:49瀏覽次數：288次

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河南順博熱處理設備有限公司

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產品簡介

雙溫區PECVD實驗室設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成,溫度可以達到1400度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計

詳細介紹

產品結構：
1400度雙溫區cvd實驗室設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成，溫度可以達到1400度，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計，可以對多種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。
滑動式快速退火管式爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
產品用途：
1400度雙溫區cvd實驗室設備是一種特殊的高真空CVD系統，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
產品參數：