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沈陽科晶自動化設備有限公司
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VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機,勻膠機
產品簡介：
VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機腔體采用聚丙烯材質，耐腐蝕且使用壽命長，可用于強酸、強堿溶液的涂覆。本機上蓋具有紫外燈光照射的功能，尤其適用于對紫外光敏感的膠體，可使涂覆后的膠體迅速固化；此外紫外燈還具有聚合作用，可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有膠塞，當腔體需要密閉的環境時應將膠塞堵好。腔體帶有進氣孔，可在勻膠過程中對腔體通保護氣。樣件采用真空吸附方式進行固定，操作簡單，使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置，以減少偏心帶來的震動，避免造成飛片。根據樣件的大小可以選擇不同規格的吸盤，吸盤更換簡單方便。本機使用精密直流無刷電機，啟動快、速度穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
| 產品型號 | VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater | ||
| 主要特點 | 1、采用真空吸盤固定樣件，樣件固定牢固且取放簡單方便；真空吸盤大小可根據需要進行定制。 2、該機上蓋具有紫外燈光照射的功能，紫外光的強度可以在一定范圍內進行調整。 3、本機上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有注液孔塞，當腔體需要密閉環境時可使用該孔塞將孔密閉。 4、該機帶有保護氣接孔，可對腔體通保護氣。 2、電機部分、紫外燈光控制部分分別使用獨立的電源進行控制。電機調速系統采用單板機+液晶顯示屏進行控制，數值顯示更直觀可靠，轉數在500-10000RPM內可調；紫光燈采用抗干擾性強的PLC控制器進行控制。 3、涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據實際需要，可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后，涂膜機先以轉速1在時間1時間內運轉，使涂膜物質逐漸分散開。當時間1結束后，涂膜機自動進入時間2階段運轉，使涂膜物質更加均勻。 3、紫光燈真空旋轉涂膜機啟動快速、轉數穩定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 4、在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉時的噪音。 5、腔體采用聚丙烯材質，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質輕。 | ||
| 技術參數 | 1、電源：AC220/110V 50/60Hz 2、電機功率： 350W/24V 3、速度范圍：500-10000rpm 4、可儲存1組程序，程序包含2個運行階段，每段增減速率設置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時間范圍：0-600s 5、吸盤規格：φ19mm φ60mm 6、保護氣進氣孔規格：φ8㎜ 7、真空氣孔規格：φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍：8-30W 9、紫光燈時間設置范圍：1-800S 10、外形尺寸：450×280×340mm 11、重量：20Kg | ||
| 標準配件 | 1 | 真空吸盤 | 2件（φ19 mm和φ60 mm） |
| 2 | 中心定位器 | 1件 | |
| 3 | 無油真空泵 | 1臺 | |
| 可選配件 | 進口移液器 國產移液槍
真空吸盤 | ||
| 相關產品 | 移液器 | BD-10ml注液器 | BD-50ml注液器
| EQ-500SP注射泵 |
| ComBi-D3涂鍍層測厚儀 | 薄膜厚度測量系統TF200 | TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀 | SGC-10薄膜測厚儀 |
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