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鄭州成越科學儀器有限公司


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凈化型勻膠機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號CY-GKF411

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

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更新時間:2022-12-16 17:41:06瀏覽次數:219次

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經營模式:其他

商鋪產品:104條

所在地區:

聯系人:汪紀彬

產品簡介

簡單介紹: 凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。

詳細介紹

詳情介紹:


凈化型勻膠機特點:

1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止

   勻膠過程中的雜質污染。

2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝

4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業學習

5、采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
7、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出有效

     隔絕有毒氣味的散發。

9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕,可電動升降前擋玻璃板。

主要技術參數:

勻膠時間:1-99秒 
勻膠轉數:0-8000轉/分 
凈化效果:100級(美國聯邦標準) 
操作區風速:0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態:垂直層流() 
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
外形尺寸:左右寬800mm;上下高1700mm;前后深680mm 
殼體顏色:白色 
控制范圍和精度:轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3% 
時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
轉速調整采用PID調節,精度。 
轉速查看智能化:可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上??捎柘冗x定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。


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