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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)CY-GKF411
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時(shí)間：2022-12-16 17:41:06瀏覽次數(shù)：266次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線(xiàn)簡(jiǎn)單介紹： 凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí)，可用此凈化型勻膠機(jī)進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中涂覆勻膠的專(zhuān)用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái)，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺(tái)同時(shí)工作。
凈化型勻膠機(jī)特點(diǎn)：
1、帶有100級(jí)空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺(tái)周?chē)諝庵械奈廴疚m，防止
勻膠過(guò)程中的雜質(zhì)污染。
2、 設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線(xiàn)，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡(jiǎn)單易學(xué)無(wú)需專(zhuān)業(yè)學(xué)習(xí)
5、采用無(wú)刷伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
6、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設(shè)置有電動(dòng)玻璃屏升降按鈕，可電動(dòng)升降前擋玻璃板。
主要技術(shù)參數(shù)：
勻膠時(shí)間：1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù)：0-8000轉(zhuǎn)/分
凈化效果：100級(jí)（美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)）
操作區(qū)風(fēng)速：0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸：左右寬800mm；上下高1700mm；前后深680mm
殼體顏色：亞白色
控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%
時(shí)間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%
轉(zhuǎn)速調(diào)整：采用PID調(diào)節(jié)，精度高。
轉(zhuǎn)速查看智能化：可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開(kāi)或關(guān)，自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開(kāi)啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。
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