TX300-1勻膠機Spin Coater 旋涂儀 旋轉涂層機 (觸屏版)
1. 可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
2. 每個涂敷工藝過程可以設置100步不同的速度狀態;
運行過程可以暫停,重復啟動。
循環轉移:次數:2的16次方= 65536次。
(用途:工藝過程重復部分的設定)
3. 可以控制加速度
4. 端跳 1mm的±2.5%
6. 32位工業計算機芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示,設定,控制。
7 1路自動滴膠。
產品簡介:TX300-1自動滴膠勻膠機旋涂儀
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
可在科研,教育,生產中應用。
沈陽市司樂機器制造廠 自主設計制造
"spin coater " 行業稱:勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉涂膜機 旋涂機
產品型號:
TX300-1自動滴膠勻膠機
工作腔內徑D300mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
沈陽陽市司樂機器制造廠 自主設計制造
主要特點:
*高精度26程序控制器:
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設置100步不同的速度狀態;
加速度(及負加速度),可設置。
中英文兩套操作系統供選擇。
操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調試并存儲程序。
設置程序:國際標準通用符號,人機交互式對話,提示操作。
無需培訓,上手就會操作。
*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。
精準的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮氣保護。
我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計,對所有的環境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
這一點針對科研實驗的苛刻要求而開發。
*真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。
*真空吸片系統更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統保護性停機。
*伺服電機,轉速精度更高:300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 % 轉速10000轉/分
*設備所用的天然聚丙烯(NPP)材質,食品級衛生材料,易清潔,材質性能穩定,綠色環保型實驗室的。
技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高 ,
中心定位原理 中心定位
利用中心定位板,將基片在機器轉軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。