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沈陽科晶自動化設備有限公司
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VTC-100PAH真空旋轉涂膜機
產品簡介：VTC-100PAH真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝，可用于強酸、強堿涂覆溶液。樣件固定采用真空吸附方式。使樣件取放自如，操作簡單。電機啟動快速度穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優點，主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。
| 產品名稱 | VTC-100PAH真空旋轉涂膜機 | ||
| 產品型號 | VTC-100PAH | ||
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有進出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kgs以上 5、通風裝置：需要 | ||
| 主要特點 | 1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 2、真空度可以達到-0.08MPa。 3、根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 4、可靠性高，適應性強，維修與保養簡單，噪音低，震動小，運轉平穩，啟動快速穩定，加速后運行平穩，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 5、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。 6、腔體采用聚丙烯材質，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質輕。 7、具有真空檢測、開蓋檢測功能，且上蓋帶有保護鎖。 8、具有開蓋保護功能，當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。 9、中/英文可變換操作系統。 10、控制界面采用觸摸顯示屏，數值顯示更直觀可靠。 | ||
| 技術參數 | 1、電壓：24V 適配器 24V/15A 2、電機功率：300W 3、操作界面：7寸觸摸屏 4、速度范圍：設定：1500-20000rpm(遞增量為：100rpm為單位) 5、程序包含16個運行階段 6、每段增減速率設置范圍：100 rpm s—6000 rpm /s 7、時間范圍：1-99s(設定速度范圍：1500至10000rpm); 1-60s(設定速度范圍：大于10000至20000rpm)。 | ||
| 產品規格 | 尺寸：250mm×340mm×320mm；重量：12kg | ||
| 標準配件 | 1 | 真空吸盤（含O型圈） | 2個（2英寸和4英寸） |
| 2 | 滴膠注射器（20ml） | 1個 | |
| 3 | 無油真空泵 | 1臺 | |
| 4 | 適配器24V/15A | 1個 | |
| 可選配件 | 進口移液器 國產移液槍 其它尺寸的真空吸盤 | ||
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