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浙江藍箭儀器有限公司
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COWAQ S150RTL-1離子濺射儀
1. 概述
Cowaq 公司的 S150RTL-1 型全自動真空磁控離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理的高質量的鍍膜儀系統。整臺設備采用了低溫磁控設計，不僅使金屬
靶和樣品臺表面的冷卻不再需要，而且更低的濺射電壓也使得儀器的使用壽命、安全性以及濺射效率更高。
2、S150RTL-1 的主要優勢功能包括：
全自動運行
10 寸彩色液晶觸摸屏全自動控制
150 mm(6 英寸)大樣品室
低電壓低溫磁控濺射
參數可預設
全自動的操作和控制系統使得用戶能更為方便地通過預選擇參數來保證鍍層厚度的精確和重復，也使得樣品表面的鍍層厚度以及顆粒更為均勻。10 寸的 液晶
屏可以更好地消除使用者對自己視力和手指直徑的擔憂，獲得更好的操作感覺。150mm 的樣品室設計使用戶能更方便地裝卸更大尺寸的樣品，或是更多的樣
品，不僅可以降低成本，提高靶材的利用率，也大大提高了工作的效率。 配合多功能行星型傾斜旋轉樣品臺，可以使不同形狀的樣品表面以及處于整個真空室
內各個不同位置的樣品表面可以進行不同位置、角度交換，從而使所有的樣品表面在不同位置，不同角度得到均勻、一致的鍍膜效果。此濺射儀可以使用標準
的 57mm 直徑，0.1mm 厚的金、鉑、金/鈀、鉑/鈀或用戶自行訂制的其他厚度靶材。所有的濺射參數都可被預先設置，而不需要每次調節。實現全自
動操作，使用者的參與已經被減至最少。
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