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沈陽科晶自動化設備有限公司


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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

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更新時間:2022-09-12 15:46:20瀏覽次數:198次

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產品簡介

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

詳細介紹

產品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一緊湊型等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜樣品直徑可達50mm鍍膜厚度可達300Å特別適用于SEM樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監控儀器狀態;  特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀體積小,操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。

產品名稱

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

產品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1設有真空表濺射電流表,可實時監控工作狀態。

2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果

3鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象

4陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用

5根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

6已通過CE認證

技術參數

1、電源:220V

2總功率<2000W包括真空泵

3真空室Ø160mm×120mm

4樣品臺Ø50mm,且高度可調,可同時進行8SEM樣品的鍍膜

5max均勻鍍膜Ø45mm

產品規格

尺寸:400mm×300mm×400mm重量:30kg

標準配件

1

金靶材

1

2

進氣針閥

1

3

保險絲

2

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材


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