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合肥科晶材料技術有限公司
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型號： VTC-16-D 產品概述： VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭直徑為2英寸，并且樣品臺高度可調節。此款鍍膜儀主要是制作一些金屬鍍膜。
| 設備名稱與型號 | 單靶磁控等離子濺射儀VTC-16-D |
| 特點 | · 體積小巧，操作簡單，易上手 · 擁有小型磁控靶頭，可以鍍金、銀、鉑等金屬 |
| 基本參數 | ·輸入電源：220V，50/60HZ · 功率：＜1000W · 濺射電流：0-80mA可調 · 輸出電壓：DC 500V |
| 濺射腔室 | · 石英腔室尺寸：外徑φ166mm×內徑φ150mm×高150mm · 采用氟膠O型圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口，用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內部充入空氣。 · 一個不銹鋼網罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體
·通過調節殼體右側的微量精密調節閥控制進入石英腔體內部工作氣體的流量，從而達到調節腔體內部的真空度 · 通過調節殼體右側的電位器，實現對濺射電流大小的控制。
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| 靶頭與靶材 | · 一個2英寸不帶水冷的磁控濺射靶頭 ，磁控濺射靶頭的使用溫度為80度，超過80度磁控靶頭會失去磁性而不能工作。 · 濺射時間 :1-120s可調 · 標配一塊銅靶 · 靶材尺寸要求：φ2″*（0.5-5）mm厚度 · 適合濺射Au,Ag,Cu,等金屬（可在我公司選購） |
| 樣品臺 | · 一個上下高度可調的樣品臺，樣品臺與靶材之間的可調距離為25-70mm · 樣品臺尺寸：φ2英寸 · 樣品臺可以選配加熱功能，加熱溫度500度；
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| 皮拉尼真空計 | · 測量范圍：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr） · 準確度：1000mbar—20 mbar（讀數的30%） 20—0.002mbar （讀數的2%） · 重復性：20—0.002mbar （讀數的2%） · 使用濕度：30℃環境下≤80% 40℃環境下≤50%無冷凝氣體； · 使用溫度：5℃—60℃
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| 薄膜測厚儀（選配） | · 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監測薄膜的厚度，分別率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數據
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| 真空系統（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機功率：370 W · 極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） · 實際壓強：≤5 Pa（冷態下機械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產或進口高真空機組
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| 設備使用要求 | · 為了達到理想的薄膜厚度，可進行多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材，基片和樣品臺的潔凈 · 需要達到薄膜與基底良好結合，則在濺射前清潔基材表面 |
| 外形尺寸 | 500*350*550mm（長*寬*高）
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| 重量 | 約20KG（不包含真空泵、水冷設備） |
| 質保 | · 一年保修，終身技術支持 1、耗材部分入加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在保修范圍內 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成損壞不在保修范圍內 |
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