污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
深圳市藍星宇電子科技有限公司
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更新時間：2022-11-14 16:48:05瀏覽次數(shù)：517次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線牛津離子束刻蝕機Ionfab 300 IBE，離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。
牛津離子束刻蝕機Ionfab 300 IBE
離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。
。多模式功能
。能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成
。單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
。雙束流配置
。更低的表面薄膜粗糙度
。更佳的批次均勻性和工藝重復(fù)性
。準(zhǔn)確終點監(jiān)測 —— SIMS，發(fā)射光
產(chǎn)品特點:
· 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
· 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計 ——運行成本低
· 已獲得的高速襯底架（高達1000RPM）設(shè)計，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為準(zhǔn)確的實時光學(xué)薄膜控制
· 配置靈活 ——適于*的研究應(yīng)用
· 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式
應(yīng)用:
· 磁阻式隨機存取存儲器（MRAM）
· 介電薄膜
· III-V族光電子材料刻蝕
· 自旋電子學(xué)
· 金屬電極和軌道
· 超導(dǎo)體
· 激光端面鍍膜
· 高反射（HR）膜
· 防反射（AR）膜
· 環(huán)形激光陀螺反射鏡
· X射線光學(xué)系統(tǒng)
· 紅外（IR）傳感器
· II-VI族材料
· 通信濾波器
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