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SAMCO二手ICP刻蝕機RIE-230iP現貨供應

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更新時間:2023-06-13 19:20:45瀏覽次數:216次

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產品簡介

SAMCOICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統

詳細介紹

SAMCO ICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統。該系統通過采用的龍卷風式線圈電極,高效地產生穩定的高密度等離子體,可對硅及各種金屬薄膜和化合物半導體進行高精度的各向異性蝕刻。此外,?230mm的托盤可同時處理多種化合物半導體。

主要特點和優點

龍卷風線圈電極

它能有效地產生穩定的高密度等離子體,使蝕刻具有高選擇性、高精度和良好的均勻性。

低損傷工藝

通過ICP產生高密度的等離子體,實現了低偏置、低損傷的工藝。

溫度控制

電調和He冷卻的平臺和反應室內側壁的溫度控制使蝕刻在穩定的條件下進行。

應用

GaN、GaAs、InP等化合物半導體的高精度加工。鐵電材料、電極材料等難蝕材料的加工。

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關鍵詞:刻蝕機
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