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北京中科復華科技有限公司


紫外光刻機

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參   考   價: 300000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號URE-2000/17/25/35/34AL

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

聯系方式:陳經理查看聯系方式

更新時間:2024-04-09 09:38:32瀏覽次數:363次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:12條

所在地區:北京北京市

聯系人:陳經理 (銷售經理)

產品簡介
產地 國產    

光刻機可廣泛用于MEMS和光電子,例如LED生產。它經過特殊設計,方便處理各種非標準基片

詳細介紹

1. 技術參數

UV光源:進口LED模塊

曝光中心波長:365nm

光源平行性:2o

曝光分辨率:0.8um-1um

曝光能量密度:>35mW/cm2可調

照度不均勻性:≤2.5%(150mm范圍)

曝光面積:160mm*160mm

光源壽命:2萬小時

曝光設定:定時

曝光頭工作模式:曝光位對準位自動切換(前后移動)

套準精度:±0.8-1 um

可執行曝光模式:真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式,

間隙設定方式:數字設定曝光間隙,自動分離和消除間隙

樣片、掩模版相對移動范圍:X: ±5mm, Y: ±5mm, θ=±6o

掩模版找平方式:球氣浮自動找平

可支持掩模版尺寸: 3″×3″4″×4″5″×5″7″×7″ 各一件

標配承片臺  2英寸、3英寸、4英寸6英寸

標準配件可兼容樣片厚度:0.1-6mm,其他尺寸可定制

可設計工作厚度:50mm

雙目雙視場對準顯微鏡或者光學鏡頭+CCD+顯示器:可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數400倍,光學+電子放大800倍,物鏡三對:4倍、10倍、20倍,目鏡三對:10倍、16倍、20倍

雙物鏡可調距離范圍:30mm-120mm

顯微掃描范圍:Y:±40mm電動,數字設定)

 設備尺寸:≤700mm


關鍵詞:顯微鏡 顯示器

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