1． 技術參數

l UV光源：進口LED模塊

l 曝光中心波長：365nm

l 光源平行性：2o

l ★曝光分辨率：0.8um-1um

l 曝光能量密度：>35mW/cm2可調

l 照度不均勻性：≤2.5%(∮150mm范圍)

l ★曝光面積：160mm*160mm

l 光源壽命：2萬小時

l 曝光設定：定時

l 曝光頭工作模式：曝光位對準位自動切換（前后移動）

l 套準精度：±0.8-1 um

l 可執行曝光模式：真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式，

l 間隙設定方式：數字設定曝光間隙，自動分離和消除間隙

l 樣片、掩模版相對移動范圍：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6o

l 掩模版找平方式：球氣浮自動找平

l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″ 各一件

l 標配承片臺 ： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

l 標準配件可兼容樣片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制

l 可設計工作厚度：50mm

l ★雙目雙視場對準顯微鏡或者光學鏡頭+CCD+顯示器：可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數400倍，光學+電子放大800倍，物鏡三對：4倍、10倍、20倍，目鏡三對：10倍、16倍、20倍

l 雙物鏡可調距離范圍：30mm-120mm

l ★顯微掃描范圍：Y:±40mm（電動，數字設定）

設備尺寸：≤700mm