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青島佳鼎分析儀器有限公司
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SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC，是高密度等離子體蝕刻系統，采用電感耦合等離子體作為放電形式
SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC，是高密度等離子體蝕刻系統，采用電感耦合等離子體作為放電形式。該系統配備了真空盒室，是一個具有優良工藝重復性和穩定性的全規模生產系統。該系統是直徑4英寸等小直徑晶圓的專用系統，可以在最小的潔凈室空間內安裝。
可高效穩定地應用高射頻功率（2千瓦以上），并實現良好的均勻性。
排氣系統直接連接到反應室，可以實現從小流量和低壓范圍到大流量和高壓范圍的廣泛工藝窗口。
干涉法和發射光譜終點監測儀可用于目標薄膜厚度的終點檢測。
TMP(渦輪分子泵)已集成在一個單元中，便于更換。
GaN、GaAs、InP等化合物半導體的高精度加工
SiC、SiO?的高速加工
蝕刻鐵電材料（PZT、BST、SBT、SBT）、電極材料（Pt、Au、Ru、Al）和其他難以蝕刻的材料
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