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上海浦量元精密機電有限公司
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Verifire™ XPZ激光干涉儀
Verifire™ XPZ
ZYGO Verifire™ XPZ型號激光干涉儀可以為光學元器件的平面、球面面形和透射波陣面提供快速、高精度干涉測量，配合功能強大的MetroPro®軟件可以獲得高重復性和高精度的測量結果。
Verifire™XPZ運用精QUE相位調制技術對樣件的細微面形進行精密測量，具有很高的精que度和重復性。測量時對干涉腔長進行**調制，同時640 x 480 像素CCD進行數據采集獲取多個條紋圖像，由MetroPro®軟件分析計算。
可以測量玻璃或者塑料光學元件，如：平面、透鏡、棱鏡；還有精密合金件、電腦磁盤、軸承和封接面；拋光件、陶瓷、等。在過去的三十多年，我們的干涉儀是世界各地計量設備的優選。
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