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SJ6000激光干涉儀

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更新時間:2022-10-26 17:32:45瀏覽次數:203次

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產品簡介

產品介紹 SI6000激光干涉儀產品簡介:SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、SJ6000激光干涉儀可實現線性測長、測角度、測直線度、測垂直度、測平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

詳細介紹

SJ6000激光干涉儀


SI6000激光干涉儀介紹:

SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

1、可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

2、可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3、可實現對機床回轉軸的測量與校準;

4、可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

5、具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

6、支持手動或自動進行環境補償。


SI6000激光干涉儀優點:

SI6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

SJ6000激光干涉儀



SI6000激光干涉儀線性測量:

SI6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SI6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

線性測量

測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度:0.5ppm (0~40)

測量分辨力:1nm

測量速度:4m/s

SJ6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀角度測量:

角度反射鏡旋轉時產生轉角,或是移動過程中產生角擺,兩束反射光會有相對應的光程差產生,SI6000采集到該光程差的干涉信號,經過運算處理,即可得出對應的角度值

角度測量

軸向量程:(0~15)m

測量范圍:±10°

測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M) (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)

測量分辨力:0.1

SJ6000激光干涉儀


SI6000激光干涉儀直線度測量

直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時,兩束反射光會有相對應的光程差產生,SI6000采集到該光程差的干涉信號,經過運算處理,即可得出對應的直線度值。

直線度測量

軸向量程

測量范圍

測量精度

分辨力

短距離

(0.1~4.0)m

±3mm

±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm 0.01μm

長距離

(1.0~20.0)m

±3mm

±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm 0.1μm

注:R為顯示值,單位:μmM為測量距離,單位:m

SI6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀平面度測量:

平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ

平面度測量

軸向量程:(0~15)m

測量范圍:±1.5mm

測量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μmM為測量距離,單位:m)

基板尺寸:180mm可調,360mm可調

測量分辨力:0.1μm

SI6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀垂直度測量

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成,詳見下面垂直度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整;光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中,允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差=光學直角尺誤差-斜度θ1-斜度θ2

垂直度測量

軸向量程

測量范圍

測量精度

分辨力

短距離

(0.13.0)m

±3/M mm/m

±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm/m

長距離

(1.015.0)m

±3/M mm/m

±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm/m

注:R為垂直度結果;M為測量距離,單位:m

SI6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀技術參數:

主機

穩頻精度:0.05ppm

動態采集頻率:50 kHz

預熱時間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)

存儲溫度范圍:(-20~70)

環境濕度:(0~95)%RH

環境補償單元

空氣溫度傳感器:±0.1 (0~40)℃,分辨力0.01

材料溫度傳感器:±0.1 (0~55)℃,分辨力0.01

空氣濕度傳感器:±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa

角度測量范圍:(0~360)°

測量精度:±1

分辨力:0.1

轉速:10rpm

跟蹤速度:2rpm

重量:1.9kg

高度:148mm

直徑:112mm

通信方式:藍牙傳輸

供電方式:鋰電池

正交觸發盒

信號輸入:差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式:10μs脈沖

觸發延時:0.1μs

供電電源:12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸:613mm×460mm×230mm

標準配置重量:18kg

供電電源:(100~240)VAC



SI6000激光干涉儀配置清單:

序號

名稱

明細

備注

1

SI6000主機

1臺,配云臺、電源適配器

標配

2

通用三腳架

1個,配便攜包

3

筆記本電腦

1臺,配測量軟件

4

環境補償單元

環境補償主機:1個,內置空氣濕度和大氣壓力傳感器

空氣溫度探頭:1個,線長5

材料溫度探頭:3個,線長5

5

標配附件

USB線:2

磁性表座:2

安裝柱:4

輔助安裝塊:1

水平儀:1

6

線性鏡組

線性干涉鏡、線性反射鏡,各1個,夾緊孔座2

7

便攜式拉桿箱

1個,外尺寸:613mm×460mm×230mm

8

線性附件

三坐標測頭夾具:1

選配

9

輕型線性鏡組:小角錐反射鏡、縮光鏡,各1

選配

10

可調轉向鏡:1

選配

11

角度鏡組

角度干涉鏡、角度反射鏡,各1

選配

12

平面度鏡組

180mm360mm可調基板,各1個,平面度旋轉鏡2

選配

13

短直線度鏡組

短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡,各1

選配

14

長直線度鏡組

長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡,各1

選配

15

直線度附件

大角錐反射鏡、90度轉向鏡、直線度底座、M8接頭,各1

選配

16

垂直度鏡組

光學直角尺、90°轉向鏡輔助安裝塊,各1

選配

17

自動精密轉臺

1臺,配卡盤、USB數據線、USB電源適配器、藍牙工具

選配

18

正交觸發盒

1臺,配電源適配器、觸發數據線

選配

19

工作服

夏、冬實驗室工作服,各1

選配

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