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上海拍頻光電科技有限公司
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一）系統簡介上海拍頻光電科技有限公司自主研發的光纖雙頻激光干涉儀系列（OpticalFiberDual-frequencyLaserInterferometerseries
一）系統簡介
上海拍頻光電科技有限公司自主研發的光纖雙頻激光干涉儀系列（OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series，FDI）依然是基于雙頻外差干涉原理，與傳統雙頻激光干涉儀系列不同的是，光纖雙頻激光干涉儀系列采用光纖進行光路傳輸，結合了雙頻外差干涉和光纖傳輸的優點，在保留了雙頻干涉的高精度基礎上，提高了使用的便捷性，主要應用于精密運動控制、機床測校、精密軸系測校、各類計量標定等領域。
二）系統構成
上海拍頻光電科技有限公司開發的光纖雙頻激光干涉儀由雙頻干涉控制器、各種光纖雙頻干涉儀（光纖探針干涉儀、光纖單軸干涉儀、光纖雙軸干涉儀、光纖三軸干涉儀）、被測反射鏡、上位機軟件等部分組成，如下圖所示。
光纖雙頻激光干涉儀系統示意圖
三）主要特點
主要特點如下：
?支持位移、速度、角度、直線度、平行度、垂直度等測量
?采用外差信號相位解調技術，測量速度和測量分辨率相互獨立
?采用雙頻干涉技術，抗力強，易進行多軸擴展，測量結果噪聲低
?單塊數字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量，并支持多處理器級聯
?支持高精度環境誤差補償
四）主要性能
主要技術指標如下：
| 指標名稱 | 參數 | 備注 |
| 測量分辨率 | 0.3nm | 更高分辨率可定制 |
| 測量速度 | 4000mm/s | 更高測量速度可定制 |
| 測量范圍 | 10m | |
| 采樣速率 | 10MHz | |
| 波長穩定度 | 0.01ppm@1hour | |
| 線性測量精度 | 0.1ppm | |
| 通訊接口 | Ethernet/ABZ | 其它接口可定制 |
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