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系統簡介-傳統雙頻激光干涉儀

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產品簡介

一、簡介傳統雙頻激光干涉儀(TraditionalDual-frequencyLaserInterferometerseries,TDI)采用傳統的空間光傳輸,分辨率可達0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域

詳細介紹



一、簡介

傳統雙頻激光干涉儀(Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series,TDI)采用傳統的空間光傳輸,分辨率可0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域。

上海拍頻光電科技有限公司自主開發的傳統雙頻激光干涉儀系統,主要特點如下:

?支持位移、速度、角度測量

?采用平鏡干涉儀測量,達到4倍光學細分

?具有高數據采樣率,支持位移和速度的實時閉環反饋

?采用雙頻干涉技術,抗力強,易進行多軸擴展,測量結果噪聲低

?單塊數字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量,并支持多處理器級聯


二、系統構成

傳統雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。



傳統雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器激光器可調底座導光元件導光元件可調底座光纖耦合器光纖信號處理卡等部件組成。


三、性能參數

上海拍頻光電科技有限公司研發的傳統雙頻激光干涉儀,主要系統參數如下表:


指標名稱
參數

測量分辨率(Resolution

0.077nm @ 4 optical division

測量范圍(Range

20m

采樣速率(Sampling rate

10MHz

通訊接口(Interface

VME / ABZ / RS485 / 網口


備注:可定制VPX通訊接口,可定制更高測量分辨率。



關鍵詞:激光干涉儀
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