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ES01快速攝譜式自動(dòng)變角度光譜橢偏儀

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更新時(shí)間：2023-03-09 17:34:07瀏覽次數(shù)：313次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ES01系列光譜橢偏儀用于測(cè)量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k），也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k

詳細(xì)介紹

ES01系列光譜橢偏儀用于測(cè)量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k），也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

ES01系列光譜橢偏儀適合于對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)和非實(shí)時(shí)檢測(cè)。

特點(diǎn)：

原子層量的檢測(cè)靈敏度

采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的設(shè)計(jì)和制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測(cè)量原子層量的納米薄膜，膜厚精度達(dá)到0.05nm。
秒的快速測(cè)量

快速橢偏采樣方法、高信噪比的信號(hào)探測(cè)、自動(dòng)化的測(cè)量軟件，在保證高精度和準(zhǔn)確度的同時(shí)，10秒內(nèi)快速完成一次全光譜橢偏測(cè)量。
一鍵式儀器操作

對(duì)于常規(guī)操作，只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的測(cè)量、建模、擬合和分析過(guò)程，豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的高操作需求。

應(yīng)用：

ES01系列尤其適合于科研和工業(yè)產(chǎn)品環(huán)境中的新品研發(fā)。

ES01系列多種光譜范圍可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)合。比如：

ES01V適合于測(cè)量電介質(zhì)材料、無(wú)定形半導(dǎo)體、聚合物等的實(shí)時(shí)和非實(shí)時(shí)檢測(cè)。
ES01U適合于很大范圍的材料種類，包括對(duì)介質(zhì)材料、聚合物、半導(dǎo)體、金屬等的實(shí)時(shí)和非實(shí)時(shí)檢測(cè)，光譜范圍覆蓋半導(dǎo)體的臨界點(diǎn)，這對(duì)于測(cè)量和控制合成的半導(dǎo)體合金成分非常有用。并且適合于較大的膜厚范圍（從次納米量到10微米左右）。

ES01系列可用于測(cè)量光面基底上的單層和多層納米薄膜的厚度、折射率n及消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括：微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽(yáng)電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁介質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。典型應(yīng)用如：

半導(dǎo)體：如：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等）；
平板顯示：TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等；
功能性涂料：增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層，以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等；
生物和化學(xué)工程：有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理、液體等。

ES01系列也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括：固體（金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等），或液體（純凈物或混合物）。典型應(yīng)用包括：

玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。

技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
光譜范圍	ES01V：370-1000nm ES01U：245-1000nm
光譜分辨率	1.5nm
單次測(cè)量時(shí)間	典型10s,取決于測(cè)量模式
準(zhǔn)確度	δ(Psi): 0.02 ° ,δ(Delta): 0.04° （透射模式測(cè)空氣時(shí)）
膜厚測(cè)量重復(fù)性（1）	0.05nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
折射率精度（1）	1x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
入射角度	40°-90°自動(dòng)調(diào)節(jié)，重復(fù)性0.02°
光學(xué)結(jié)構(gòu)	PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有的準(zhǔn)確度）
樣品臺(tái)尺寸	可放置樣品尺寸：直徑170 mm
樣品方位調(diào)整	高度調(diào)節(jié)范圍：0-10mm
樣品方位調(diào)整	二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
樣品對(duì)準(zhǔn)	光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
軟件	•多語(yǔ)言界面切換
	•預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
	•安全的權(quán)限管理模式（管理員、操作員）
	•方便的材料數(shù)據(jù)庫(kù)以及多種色散模型庫(kù)
	•豐富的模型數(shù)據(jù)庫(kù)
選配件	自動(dòng)掃描樣品臺(tái) 聚焦透鏡