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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG Hercules NIL納米壓印系統

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更新時間：2024-04-27 07:13:38瀏覽次數：128次

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EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺，應用于AR/VR中的光學設備、3D傳感器、生物醫療設備、納米光學和等離子學研究。

產品簡介：

EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺，應用于AR/VR中的光學設備、3D傳感器、生物醫療設備、納米光學和等離子學研究。

 

主要特點及參數：

·支持12英寸（300mm）晶圓

·支持包括3D在內的各種結構尺寸形狀

·可做200mm和300mm晶圓的橋接

·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）

EVG 610（NIL）納米壓印系統

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統

主要特點及參數：

EVG 720納米壓印系統

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設備，能在大面積、高產量、低成

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