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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 610光刻機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間：2021-06-29 16:34:56瀏覽次數(shù)：1257次

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EVG 610是一款入門級(jí)光刻機(jī)，支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸4種曝光方式，可選配背面對(duì)準(zhǔn)模塊。也可用于鍵合對(duì)準(zhǔn)及納米壓印光刻（NIL），是科研開發(fā)用戶的理想選擇。

產(chǎn)品簡介：

EVG 610是一款入門級(jí)光刻機(jī)，支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸4種曝光方式，可選配背面對(duì)準(zhǔn)模塊。也可用于鍵合對(duì)準(zhǔn)及納米壓印光刻（NIL），是科研開發(fā)用戶的理想選擇。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·頂部及底部對(duì)準(zhǔn)：

頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm

底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm

紅外對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm（取決于襯底材料）

鍵合對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm

納米壓印對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm

·支持汞燈或的UV-LED光源

·自動(dòng)楔形補(bǔ)償程序

·可選配功能：

鍵合對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

納米壓印光刻（NIL）

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