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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG IQ Aligner NT光刻系統(tǒng)

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更新時間：2024-04-27 07:20:29瀏覽次數(shù)：208次

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EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺的升級款，在對準精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產(chǎn)線。

產(chǎn)品簡介：

EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺的升級款，在對準精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產(chǎn)線。

 

主要特點及參數(shù)：

·支持12英寸（300mm）晶圓

·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理。

·全自動頂部及底部對準：

頂部對準精度≤±0.25μm

底部對準精度≤±0.5μm

·支持Casettes, SMIF或FOUP上料

·可選配功能：

紅外對準（透射或反射）

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