產品簡介：
EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺的升級款，在對準精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產線。
主要特點及參數：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理。
·全自動頂部及底部對準：
頂部對準精度≤±0.25μm
底部對準精度≤±0.5μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對準（透射或反射）
暫無信息 |
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產品簡介：
EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺的升級款，在對準精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產線。
主要特點及參數：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理。
·全自動頂部及底部對準：
頂部對準精度≤±0.25μm
底部對準精度≤±0.5μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對準（透射或反射）
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