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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG 620NT光刻機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2021-06-29 16:33:50瀏覽次數(shù):949次

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EVG 620NT是一款通用性和可靠性*的光刻機(jī),提供*的掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。可選擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置,滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品簡介:

EVG 620NT是一款通用性和可靠性*的光刻機(jī),提供*的掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。可選擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置,滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·支持6英寸(150mm)晶圓

·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理,可快速轉(zhuǎn)換多尺寸晶圓

·全自動(dòng)頂部及底部對(duì)準(zhǔn):

頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm

底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm

紅外對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm(取決于襯底材料)

·支持汞燈或的UV-LED光源

·支持半自動(dòng)原位升級(jí)為全自動(dòng)

·可選配功能:

鍵合對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

納米壓印光刻(NIL)

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