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當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>單面/雙面光刻系統(tǒng)>> EVG 6200NT光刻機
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 6200NT是620NT的增強型，提供*的掩膜對準技術(shù)。可選擇半自動或全自動配置，滿足大批量生產(chǎn)和Fab標準。
主要特點及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理，可快速轉(zhuǎn)換多尺寸晶圓
·全自動頂部及底部對準：
頂部對準精度≤±0.5μm
底部對準精度≤±1μm
紅外對準精度≤±2μm（取決于襯底材料）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·支持半自動原位升級為全自動
·可選配功能：
鍵合對準
紅外對準
納米壓印光刻（NIL）
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