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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 6200NT光刻機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間：2021-06-29 16:32:10瀏覽次數(shù)：1176次

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EVG 6200NT是620NT的增強(qiáng)型，提供*的掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。可選擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置，滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 6200NT是620NT的增強(qiáng)型，提供*的掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。可選擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置，滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理，可快速轉(zhuǎn)換多尺寸晶圓

·全自動(dòng)頂部及底部對(duì)準(zhǔn)：

頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm

底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm

紅外對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm（取決于襯底材料）

·支持汞燈或的UV-LED光源

·支持半自動(dòng)原位升級(jí)為全自動(dòng)

·可選配功能：

鍵合對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

納米壓印光刻（NIL）

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