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半導(dǎo)體行業(yè)中等離子清洗機(jī)運(yùn)用
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體上的運(yùn)用，在IC芯片制造領(lǐng)域中，等離子體處理設(shè)備已是一種不可替代的成熟工藝，不論在芯片源離子的注入，還是晶元的鍍膜，低溫等離子體表面處理設(shè)備所能達(dá)到的：在晶元表面去除氧化膜、有機(jī)物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤(rùn)性。半導(dǎo)體行業(yè)中的等離子清洗機(jī)運(yùn)用!集成電路引線鍵合的質(zhì)量對(duì)微電子器件的可靠性有決定性影響，鍵合區(qū)必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有機(jī)殘?jiān)榷紩?huì)嚴(yán)重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對(duì)鍵合區(qū)的污染物去除不*或者不能去除，而采用 -
等離子清洗機(jī)提高表面附著效果，等離子處理設(shè)備表面活化處理用于材料表面活化和表面改性,等離子體處理設(shè)備可以應(yīng)用于各種各樣的材料:包括金屬,陶瓷,復(fù)合材料,塑料,聚合物和生物材料.等離子清洗機(jī)是一種用于提高表面附著效果的表面活化處理裝置，用作表面親水性的提高、表面活化和表面改性的*工具。等離子體處理設(shè)備可以應(yīng)用于各種各樣的材料，包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、塑料、聚合物和生物材料。等離子清洗機(jī)可廣泛應(yīng)用于表面工程應(yīng)用中，包括表面清洗、表面滅菌、表面活化、表面能蝕變、粘接和粘附的表面制備、表面化學(xué)改性以及
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等離子體清洗機(jī)在半導(dǎo)體和光電工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用，在汽車、航天、醫(yī)療、裝飾等諸多技術(shù)領(lǐng)域得到了廣泛的推廣。近幾年來，等離子體清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于聚合物表面活化、電子器件制造、塑料膠接處理、改善生物相容性、防止生物污染、微波控制、精密機(jī)械零件清洗等領(lǐng)域。等離子清洗機(jī)改善對(duì)復(fù)合材料表面的粘接性能：碳纖維、芳綸等連續(xù)纖維具有重量輕、強(qiáng)度高、熱穩(wěn)定性和抗疲勞性能優(yōu)良等顯著特點(diǎn)，用來增強(qiáng)熱固性、熱塑性樹脂基復(fù)合材料的制品在飛行器、汽車、體育、電器等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但商業(yè)纖維材料的表面通常有一層有機(jī)涂層
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等離子清洗機(jī)在COG-LCD生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用
等離子清洗機(jī)可用于液晶玻璃和COG-LCD半成品玻璃裝配生產(chǎn)工藝的清洗，以提高產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性等。離子清洗機(jī)產(chǎn)生的低溫等離子體有*的物理和化學(xué)特性，可以用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子接枝聚合，等離子活化、等離子沉積等表面改性工藝中。液晶顯示的COG裝配生產(chǎn)過程，是將IC貼裝在ITO玻璃上，利用金球的壓縮變形作用，使ITO玻璃上的引腳與IC上的引腳相連接導(dǎo)通。隨著精細(xì)線技術(shù)的不斷發(fā)展，目前已開發(fā)出Pitch20μm，10μm的產(chǎn)品。由于ITO玻璃表面的潔凈度要求很高，因此，對(duì)ITO玻璃的可焊性 -
等離子清洗機(jī)對(duì)金屬生物材料表面改性的應(yīng)用主要可以分為：改善生物相容性，固定生物活性大分子和提高金屬的抗生理腐蝕性能3大類。1、改善生物相容性：當(dāng)把金屬材料植入生物體內(nèi)時(shí)，必須滿足生物相容性的要求。生物相容性是指材料與血液和組織相互適應(yīng)的程度。在金屬生物材料表面接枝聚合親水性的功能團(tuán)改善材料表面性能是目前受重視的金屬生物材料表面改性方法，等離子清洗設(shè)備主要應(yīng)用于提高材料的生物相容性和對(duì)活體細(xì)胞的生長(zhǎng)誘導(dǎo)性，使其具有更優(yōu)良的生物活性。2、金屬基體上接枝無機(jī)物：鈣磷是骨組織的基本成分，金屬植入體表面沉
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半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中等離子清洗機(jī)的應(yīng)用
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,幾乎每道工序中都需要進(jìn)行清洗,圓片清洗質(zhì)量的好壞對(duì)器件性能有嚴(yán)重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制造工藝中重要頻繁的工步,而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,所以國(guó)內(nèi)外各大公司、研究機(jī)構(gòu)等對(duì)清洗工藝的研究一直在不斷地進(jìn)行。等離子體清洗機(jī)作為一種的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點(diǎn)，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，等離子清洗機(jī)也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來越多。晶圓等離子清洗機(jī)（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預(yù)處理/介電質(zhì)刻蝕/晶圓凸點(diǎn)/有機(jī)污染去除/晶圓減薄）半導(dǎo)體的 -
真空式等離子處理系統(tǒng)，等離子清洗機(jī)具有超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，準(zhǔn)確的控制設(shè)備運(yùn)行；可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求；等離子清洗機(jī)保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制；等離子清洗機(jī)高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)等離子清洗機(jī)應(yīng)用范圍真空等離子清洗機(jī)適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板
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等離子清洗機(jī)用于重工業(yè)，等離子處理設(shè)備
1．等離子清洗機(jī)用于鋰電池隔膜行業(yè)等離子清洗機(jī)應(yīng)用于電池隔膜處理，提高吸堿率及親水性。電池隔膜均為高分子材料，極性弱。分子難以透過，使用等離子清洗機(jī)處理后，改善了材料表面特性，大大提高了電池性能。2、等離子清洗機(jī)用于連接器電連接器中的絕緣體與封線體之間的粘接效果一直影響著國(guó)產(chǎn)電連接器的發(fā)展，尤其在重工業(yè)對(duì)電連接器的要求更苛刻，未經(jīng)等離子表面處理的絕緣體與封線體之間的粘接效果非常差，即使使用配方的膠，其粘接效果也達(dá)不到要求，另外，如果絕緣體和封線體之間粘接不緊密，就可能會(huì)產(chǎn)生漏電，使得電連接器的耐
