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外延片(硅片)腐蝕清洗機

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更新時間:2024-10-10 08:50:54瀏覽次數:165次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:64條

所在地區:山東濟寧市

聯系人:岳增會 (銷售部經理)

產品簡介

概述:本機控制模式:手動控制模式、自動控制模式

詳細介紹

外延片(硅片)腐蝕清洗機(圖1)

 

概述:

本機控制模式:手動控制模式、自動控制模式。

主要特點:

清洗規格:

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動方式實現放件,取件,槽體間傳送件;腐蝕工藝自動補藥液,保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性。

(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調)手動由觸摸屏界面可設定。

藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供夜系統;DI槽配有在線式水質檢測裝置;配有分體式廢液回收系統。



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