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上海比目儀器有限公司
透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長工作距離,并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數, 配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
一、用途:
透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長工作距離,并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數, 配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制最普通的儀器.
二、技術參數
1.目鏡
類型 | 放大倍數 | 視場 |
大視野目鏡 | 10X | Φ16 |
2.物鏡
類 別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
平場消色差物鏡(無蓋玻片) | 5X | 0.12 | 18.3 |
10X | 0.25 | 8.9 | |
40X | 0.60 | 3.7 | |
60X | 0.85 | 0.26 |
3.光學放大倍數:50X 100X 400X 600X 系統參考放大倍數:50X-4000X
4.載物臺:尺寸 185mm*140mm 移動范圍 75mm*50mm
5.調焦系統:帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動 微動格值 0.002mm
6.濾色片組:轉盤式,黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統:6V/20W鹵素燈,亮度可調;220V(50Hz)
9.防霉:*的防霉系統
10.成像系統:300萬高像素的數字攝像頭帶測量軟件
三、系統組成
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-300E): 1、顯微微 2、適配鏡 3、300萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-300E):50--40000倍 (17寸顯示器為例)
五、選購件
1.二維測量軟件BM-3000C 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡:20X 80X
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