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材質 | 不銹鋼 | 工作室尺寸 | 350mm |
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功率 | 2800 | 類型 | 真空 |
適用范圍 | 半導體,電子,醫療,新材料 | 溫度范圍 | 200℃ |
重量 | 190kg |
HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱
HMDS(六甲基二硅氮烷)為半導體應用的光刻膠粘合促進劑。
HMDS烘箱將六甲基二硅胺烷HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版玻璃、石英片、藍寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導體材料表面后經系統加溫,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱技術性能
處理產品:2-12寸晶圓及方片均可兼容(可定制)
材質:內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
溫度范圍:80-200℃
真空度:≤1torr
工藝數量:5個工藝設定并保存
操作界面:智能型彩色人機界面,一鍵完成工藝
真空泵:無油渦旋真空泵(或旋片油泵)
HMDS預處理機烘箱其他功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
脫水烘烤
溫度保護程序鎖定保護
圖形反轉功能
HMDS藥液泄漏報警提示功能
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