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當前位置:上海雋思實驗儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>HMDS烘箱>>HMDS鍍膜機
大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱 是半導體光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于基片表面預處理,通過六甲基二硅氮烷(HMDS)涂布增強光刻膠與基片的黏附性。
硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備通過表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過程中實現(xiàn)結(jié)構(gòu)較好的轉(zhuǎn)移,復制.
抗黏劑蒸鍍機 抗粘劑涂膠機 硅烷氣相鍍膜機通過精確控制烘箱溫度(100-200℃)、處理時長及保持時間等參數(shù),使氮烷(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷...
抗粘劑蒸鍍機 硅烷鍍膜機氣相沉積系統(tǒng)硅烷偶聯(lián)劑(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等)作為一類重要的有機硅化合物,在材料表面改性、復合...
HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實...
可程式HMDS蒸鍍設(shè)備,HMDS真空鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了H...
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機物、工藝殘余、可動離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉裕鰪姳砻娴酿じ叫裕℉...
智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物...
光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。
HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降...
HMDS涂膠系統(tǒng),HMDS涂膠烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處...
HMDS鍍膜機設(shè)備。整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級316L不銹鋼材料制作,無發(fā)塵材料,適用百級光刻間凈化環(huán)境。
抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。
脫模劑蒸鍍機,脫 模劑鍍膜烤箱應用于半導體,光電、電子行業(yè)硅片、砂紙或石英硬模板等材料。
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