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當(dāng)前位置:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>半導(dǎo)體烘烤設(shè)備>>無氧烘箱>> 晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦?工業(yè)烘箱
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌雋思
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
更新時(shí)間:2023-08-25 09:13:49瀏覽次數(shù):1559次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線材質(zhì) | 304不銹鋼 | 工作室尺寸 | 500*500*500mm |
---|---|---|---|
功率 | 12 | 加工定制 | 是 |
類型 | 恒溫 | 適用范圍 | 半導(dǎo)體,電子,科研,高校 |
溫度范圍 | 500℃ | 重量 | 260kg |
晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>:
晶圓退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對(duì)多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Wo(hù),該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>技術(shù)性能:
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm (90L),可定制
2 材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑
3 溫度范圍 RT+50-550℃
4 控溫精度 +1
5 溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
6 溫度均勻度 ≤1.5%
7 潔凈度class100/class1000/無要求
8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)
10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀,溫度記錄儀
13操作方式 彩色觸摸屏控制,可程式/定制運(yùn)行
14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤
500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>安全保護(hù):
三色報(bào)警燈
超溫報(bào)警
短路保護(hù)
漏電保護(hù)
超溫保護(hù),獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器
電機(jī)保護(hù)
電子鎖自動(dòng)鎖緊,防止高溫開門
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