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上海雋思實驗儀器有限公司
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堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱 工業烘箱

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌雋思

廠商性質生產商

所  在  地上海

更新時間:2023-06-28 09:50:34瀏覽次數:1413次

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工作電壓 380v 工作室尺寸 600*700*800mm
功率 6kw 設備重量 200kg
外形尺寸 1350mm 溫度范圍 300℃
材質 不銹鋼 供貨周期 15天
加工定制 溫度波動度 1℃
堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱概述
       無塵烤箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
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堅膜無塵烤箱特點
1、 烤箱用于半導體車間100級生產線;
2、 設備能夠實現對CASETTE內硅片烘烤工藝;
3、 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
4、 開機后墻體內一直處于恒溫狀態;
5、 強制送風循環方式,雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到高精度溫度控制;
?6、操做人員放入產品后關門,點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝,完成后伴有聲光提示。

堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱技術參數
1、 無塵等級:Class 100;     
2、 溫度均勻度:±2℃;    
3、 溫度波動度:±0.5℃(空載);        
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 溫度范圍:RT+10-200/300℃;
?6、 升溫速率:?≥8?℃/min(可修改)?;
?7、 內腔材質:SUS304#鏡面不銹鋼;
?8、 外箱材質:優質冷軋板噴塑或SUS304#不銹鋼;?
?9、 密封條:耐高溫氟橡膠密封條;
?10、氮氣裝置:可調式浮子流量計;
?11、安全裝置:漏電保護,超溫保護,三色提示燈等。

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